微电子洁净室习题

微电子习题

一、填空

1. 空气洁净度级别以                                           来确定。

2. 1961年诞生了世界上最早的洁净室标准即                            。1963年底颁发了洁净室的一个军用部分的联邦标准即                  。

3. 洁净空间的污染源主要有                和                 两大类。

4. 广义的大气尘既包含               也包含                          ，

是专指大气中的悬浮微粒，粒径小于         。在美国和日本，和这种广义的大气尘概念相对应的是                               或者             。

5. 空气中含尘浓度的三种表示方法                  、                  、

                      ，洁净室一般采用                      表示方法。

6. 和洁净室有关的大气菌主要是                和                   。

7. 带菌微粒的等价直径是指                                         。

8. 在洁净室技术中，最常用的是以                                      

                                      来确定空气洁净级别。

9. 洁净室内的发尘量主要来自                 。

10. 微粒过滤器按微粒被捕集的位置可以分为             、        两大类。

11. 五种过滤机制是                     、                     、      

                 、                       、                         。

12. 评价任何过滤器，最重要的特性指标有四项：                         、

                        、                  、               。

13. 影响过滤效率的主要因素有                     、                 、

                          、                  。

14. 气体纯度的表示方法有                      和                    。

15. 根据气体纯度的不同，通常将气体纯度分为四级，分别为                、

                、                、                   。

16. 气体中的杂质从其性质方面考虑，可将其分为                         、

                               、                                三类。

17. 气体中的液体杂质主要指                  。

18. 一般要求气体中颗粒允许粒径大小为电路设计最小线宽的            以下。

二、简答

1. 试举例说明气体纯度的表示方法。

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