无尘室空气净化设备规范要求

admin 2019-11-06 12:11 阅读


无尘室空气净化设备标准要求
无尘室内有多种工序时,应根据各工序的不同要求,采用不同的空气洁净度等级;在满足人生产工艺(production engineering)要求的前提下,气流组级别宜采用局部(part)工作区空气净化和全室空气净化组合的形式;层流无尘室和乱流无尘室以及运行班次和使用时间不同的,其净化空气调节系统均宜分开设置;洁净区的清扫,宜采用移动式高效真空吸尘器或设置集中式真空吸尘系统,集中式真空吸尘系统的管道应暗敷。无尘室应保证一定的新鲜空气量,其数值应取下列风量(定义:单位时间内空气的流通量)中的最大值:乱流无尘室总送风量的10%-30%,层流无尘室总送风量的2%-4%,补偿室内排风和保持室内正压值所需的新鲜空气量;保证室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。
无尘室必须维持一定的正压,不同等级的无尘室以及洁净区与非洁净区之间的静压差,应不小于4.9Pa,洁净区与室外的静压差,应不小于9.8Pa;送风、回风和排风系统的启闭联锁,系统开启时,联锁程序应为先启动送风机(Draught Fan),再启动回风机和排风机,系统关闭时,则联锁程序应相反;非连续运行的无尘室,可根据生产(Produce)工艺要求设置值班风机,并对新风进行处理。无尘室净化最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为无尘室。气流组织的选择应符合:洁净工作区的气流速度,应满足空气洁净度和人体健康的要求,并应使洁净工作区气流流向单一;回风口宜均匀(jūn yún)布置在无尘室下部;余压阀宜设在无尘室气流的下风侧,不宜设在洁净工作区高度范围内。乱流无尘室的送风量(定义:单位时间内空气的流通量),应取下列规定的最大值:为控制室内空气洁净度所需的送风量;根据热、湿负荷计算和稀释(dilute)有害气体所需的送风量;按空气平衡所需要的送风量。当生产工艺(production engineering)仅要求在无尘室内局部工作区达到更高的空气洁净度时,其气流组织设计应使洁净气流首先流经该工作区,或在无尘室的不同区域形成不同气流流型和空气洁净度级别的洁净工作区;无尘室内有局部排风装置时,其位置(position )应设置工作区气流的下风侧。公司可提供无尘室、无尘车间的咨询、规划、设计、施工、安装、改造等配套服务。
确定集中式或分散式净化空调系统时,应综合考虑生产(Produce)工艺的特点和无尘室空气的洁净度等级、面积、位置等因素(factor),凡生产工艺(production engineering)连续(Continuity)、无尘室面积较大时,位置集中以及噪声控制(control)和振动控制要求严格的无尘室,宜采用集中式净化空气调节系统;净化空气调节系统除直流式系统和设置值班风机(Draught Fan)的系统外,应采取防止室外污染空气通过新风口渗入无尘室内的防倒灌措施;净化空气调节系统设计应合理利用回风,凡工艺过程产生大量有害物质且局部(part)处理不能满足卫生要求,或对其他工序有危害事,则不应用回风。无尘车间不同级别空气洁净度的空气过滤器的选用、布置要点:对于300000级空气净化处理,可采用亚高效过滤器代替高效过滤器;空气洁净度100级、10000级及100000级的空气净化处理,应采用初、中、高效过滤器三级过滤器。无尘室装修亦称为无尘室或清净室。它是污染控制的基础。控制空气悬浮微粒浓度,从而达到适当的微粒洁净度级别。对于光学构造而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响,所以在光学构造产品的生产上,无尘是必然的要求。空气过滤器(作用:过滤杂质等)的选用布置和安装方式,应符合:初效空气过滤器不应选用浸油式过滤器;中效空气过滤器宜集中设置在净化空调系统的正压段;高效空气过滤器或亚高效空气过滤器宜设置在净化空调系统的末端;中效、亚高效、高效空气过滤器宜按额定风量(定义:单位时间内空气的流通量)选用;高效空气过滤器的安装方式应简便可靠,易于检漏和更换;阻力、效率相近的高效空气过滤器宜设置在同一无尘室内。送风机可按净化空调系统的总送风量和总阻力值进行选择,中效、高效空气过滤器的阻力宜按其初阻力的两倍计算。
    x
    手机
    电话
    微信
    QQ